जब कोई उच्च गति मान इलेक्ट्रान (Fast Moving Electron) Target से
टकराता हैं, तब X Rays का उत्पादन होता हैं | उच्च गतिमान इलेक्ट्रान में
गतिज उर्जा (Kinetic Energy) निहित होती हैं, जो टारगेट मटेरियल से टकराने
पर ऊष्मा (Heat) तथा X ray में परिवर्तित हो जाती हैं | अतः इलेक्ट्रान का
टारगेट से टकराने पर X Rays का उत्पादन होता हैं | इलेक्ट्रान के टारगेट से
टक्कर के फलस्वरूप चार तरह के प्रभाव देखे जाते हैं |
(A)
Excitation- इस प्रभाव में आपतित (Incident) इलेक्ट्रान टारगेट के बाहरी
कक्ष ( Outer Shell ) के इलेक्ट्रान से परस्पर क्रिया ( Interaction ) करता
हैं तब आपतित इलेक्ट्रान अपनी गतिज उर्जा का कुछ भाग बाहरी कक्षा के
इलेक्ट्रान को दे देता हैं, जिससे यह अपने स्थान से उच्च कक्षा (Higher
Shell ) में विस्तापित हो जाता हैं | जिसे उतेजित इलेक्ट्रान ( Excited
Electron )कहते हैं |
(B)
Ionization- इस प्रक्रिया में आयनन ( Ionization ) होता हैं |
आपतित
इलेक्ट्रान टारगेट के बाहरी कक्ष के इलेक्ट्रान से Interaction करता हैं,
तथा आपतित इलेक्ट्रान बाहरी कक्ष के इलेक्ट्रान को इतनी पर्याप्त उर्जा दे
देता है की वह अणु ( Atom) से पूर्णतया अलग हो जाता हैं | 

उत्सर्जित
इलेक्ट्रान Secondary Electron कहलाते हैं | जो आगे दुसरे एटम में
Ionization तथा Excitation कर सकते हैं, जिससे ऊष्मा का उत्पादन होता हैं
| इस प्रक्रिया में भी Xray का उत्पादन नहीं होता हैं |
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